MAU机组采用了江森自控约克高端成熟的YAM产品,YAM产品通过Eurovent、AHRI等过个国内外认证,独特的专利技术,采用包括进风、初效过滤、中效过滤、预加热、一级表冷、淋水、二级表冷、加热、送风机、均流、化学过滤、中效、高效过滤、出风等多个个功能段,满足大尺寸芯片生产厂及大型平板显示器等高洁净度环境中新风温湿度处理以及洁净度处理的要求,并可以根据工艺要求进行功能段的灵活组合,确保环境核心区洁净度达到国际标准最高级别 ISO 1级。